膜片真空泵工作原理，隔膜真空泵的结构图
　　膜片真空泵工作原理：
　　膜片真空泵，和旋片式真空泵一样,也是容积泵的一种，也是利用泵腔内密闭容积变化，吸排气从而产生真空。膜片真空泵工作原理：电机轴套有偏心轮，连杆的一端套在偏心轮上，另一端与软膜相连。在旋转电机的带动下，连杆作往复运动。连杆是驱动隔膜，它固定在泵体上做循环运动，产生弹性变形，使泵室容积周期性变化。在泵体内有一个进气口和一个排气阀，当体积变大时吸气，而体积变小则排气，周而复始运转，从而完成抽排气的过程。
　　隔膜真空泵优点
　　隔膜真空泵是一种容积泵，由于隔膜的往复变形而改变容积。它的工作原理类似于活塞泵。根扰隔膜真空泵的工作原理可以看出，隔膜真空泵具有以下特点：
　　（1）不会过热：压缩空气充当动力源，在排气过程中，气体膨胀，同时吸收热量，泵运行时，温度会降低，并且不会排放有害气体。
　　（2）不产生电火花：膜片真空泵不使用电力，接地后可以防止产生静电火花（3）可能含有颗粒的液体：由于体积较大，并且入口为球阀，因此不容易堵塞。
　　（4）对物料的剪切力极低：工作时如何吸入，如何吐出，从而使物料的搅动减至最小，并适合运输不稳定的物质。
　　（5）流量可以调节，出口处的调节阀可以随时调节流量
　　（6）运行安全稳定
　　隔膜真空泵的结构图：