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半导体行业真空泵的应用,半导体行业真空泵使用注意事项

文章出处:上海真空泵厂家当前分类:真空泵应用

  半导体行业真空泵的应用,半导体行业真空泵使用注意事项:
  半导体行业真空泵的应用主要分为三类:生产真空(中高真空);清洁真空(粗真空);过程真空(粗略真空)。不同类型的领域需要不同的真空泵。
  电子半导体行业要求真空系统大体分为三个等级。
  1、清洁条件下的抽气,只抽干空气或含少许水蒸汽的空气。
  2、中等条件下的抽气,抽除工艺过程的反应气体,但无固体颗粒物。
  3、恶劣条件下的抽气,抽除化学反应物(有毒甚至致癌)及固体颗粒物。
  电子半导体产业主要包括电子技术、半导体、多晶硅/单晶硅、太阳能和光电显示领域。
  半导体行业主要从事集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率功率功率转换等领域。例如,二极管是由半导体制成的器件。无论从科技还是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是巨大的。下面就从这三个方面,来说明半导体行业真空泵的应用:
  1、生产中使用的真空主要是通过高真空来减少工作空间的空气,以保持工作空间的清洁。使用的真空泵主要有干式泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)、分子泵及其机组。生产中使用的真空设备数量多,单机功率小。
  2、清洁真空主要是利用负压和大气压的差异来去除或输送液体或颗粒。这种应用主要采用水环真空泵和多级离心风机。由于真空度低,多级离心风机使用较多,真空源是其系统的一部分。
  3、工艺真空主要是利用负压吸附来搬运或夹持工件。螺杆泵、爪式泵、水环真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵等干式泵是工艺真空中常见的真空设备。
  半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应特别注意安全。
  半导体行业真空泵使用注意事项:
  一、真空泵及其它附件、过滤器和管道定期清洗,以避免压力过大。
  在半导体真空泵的应用中,介质通过反应室和真空泵进行介质萃取时,介质的组成会极为复杂。举例来说,四氯化硅和氧在泵出口形成二氧化硅,而四氯钛水解生成盐酸。假定是油封机械泵,这些气体也会与泵内的油产生反应。假设这些变化是颗粒、可凝结物质或腐蚀性介质的形成,它们会阻塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力升高或过高,并带来更大的危险。所以要及时清理,必要时安装过滤装置。
  2.有害气体浓度的有效稀释。
  半导体极易产生上述易燃,易爆,有毒的气体。所以在半导体真空泵的应用中,当这些介质被抽提时,有必要防止真空泵发生一些不可控制的反应。化学性质活泼,和其他一些物质,在接触到空气或氧气时,会导致燃烧甚至爆炸。氢在空气中的混合比例达到一定程度和温度时也会发生燃烧。这取决于物质的量以及它们与环境压力和温度的关系。所以,当半导体真空泵抽取这些介质时,在压缩之前,需要惰性气体,如氮,以使其稀释到目前条件下的安全范围。
  半导体真空泵的应用注意事项
  三、注意氧气浓度。
  假如空气中氧气含量过高,还可能有燃烧和爆炸的危险。所以在一些情况下,应该注意氧气的浓度,并且应该用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假定机泵是油封式的,可能需要使用一些与惰性氧相容的真空泵油,并及时更换滤油器和油。
  四、防止温度升高。
  这样更容易弄明白。真空泵中存在着大量有害气体,影响了其性能。但无论真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内温度过高,极易发生易燃、易爆及高温有毒气体的泄漏。
  在使用真空泵时,要注意在导线使用中的安全措施,并为以后的使用做好准备。

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