如何获得0.01-0.001 mbar高真空度
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如何获得0.01-0.001mbar高真空度?
究竟该采用何种真空泵,以及采用几台真空泵,最佳解决方案取决于其他一些事项:
a)您的预算
b)你需获得空气的清洁度
如果您不需要特别清洁的系统,如何获得0.01-0.001 mbar高真空度,由旋片式真空泵和罗茨真空泵串联,将很容易达到这些压力。
如果需要更清洁的系统,可以在扩散泵的入口处添加一个低温挡板,或者使用涡轮泵。您仍然需要辅助泵,如果您不担心产生油雾,则可能需要使用涡旋泵。
如何获得0.01-0.001 mbar高真空度,如果有两个并联的泵,则只需将泵速提高一倍。最终工作压力将保持不变。请勿尝试将旋片式真空泵的并联,而是将两台旋片式真空泵串联,就是将一台旋片真空泵进气口连接另一台旋片式真空泵的出气口,第二台旋片式真空泵排气至大气环境。
从环境压力到理想工作压力的可接受时间范围是多少?这将确定旋片式真空泵的数量和尺寸。
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