螺杆真空泵热力性能研究：
　　和油封式旋片式真空泵不同，作为一种干式机械真空泵，螺杆真空泵在运行过程中具有出色的抽真空性能，已广泛用于半导体行业。与传统的水环式真空泵相比，水环式真空泵近年来得到了越来越广泛的应用。然而，在文献中找不到关于螺杆真空泵和水环真空泵热力学性能的比较研究。我们的研究集中在一种类型的罗杆真空泵上和水环真空泵，对它的结构进行了详细说明，在结构分析的基础上，螺杆真空泵热力性能研究，将热力学过程分为四个独特的过程，
　　包括吸取过程，传递（压缩）过程，反冲过程和排气过程。定性地说明了每个过程的内部机理，并给出了理想情况下七个热力学参数的数学表达式。通过软件绘制螺杆真空泵的性能曲线，并将其与水环式真空泵的性能曲线进行比较。通过螺杆真空泵热力性能研究，和水环真空泵热性能对比，可以很好地解释为什么螺杆真空泵在节能，减少噪音和散热方面比水环真空泵具有更好的抽真空性能。