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罗茨真空泵工作原理

文章出处:上海真空泵厂家当前分类:真空泵原理

  罗茨真空泵工作原理:
  简单(单级)罗茨真空泵最常用作几种类型的前级泵(例如旋片真空泵,螺杆真空泵和水环真空泵)的增压泵(后级泵),以提高极限压力和抽速。当使用多级罗茨真空泵时,不需要前级泵,它们可以在大气压下运行。罗茨真空泵适合在干燥或清洁的气氛很重要或可能更重要的场合使用。当工作环境需要干燥,不能含有液体分子时,罗茨真空泵就得上场了,因此,它们经常用于制造半导体和太阳能电池板,以及用于涂料和其他工业应用。
  罗茨真空泵工作原理:
  罗茨真空泵在泵腔内,有二个“ 8 ”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为 1 的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动,其最简单的形式使用两个在外壳或腔室内旋转的反向旋转的相互连接的“凸角”转子组成。气体通过垂直于旋转转子定位的入口法兰进入,然后被“隔离”在快速旋转的转子(沿相反方向旋转)和腔室壁之间。然后,压缩气体通过排气口排出。
  罗茨真空泵工作原理,和旋片式真空泵,水环真空泵工作原理不相同,罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。
  真空机组,通常由其它真空泵,旋片式真空泵,水环真空泵,螺杆真空泵作前级真空泵,罗茨真空泵作为增压泵组成,可以达到很高的极限真空度。

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