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旋片式真空泵在高真空技术中的应用

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  旋片式真空泵在高真空技术中的应用
  真空技术是用旋片式真空泵从密闭空间中除去所有(或几乎所有)气体,以及测量和操纵真空环境的科学。真空技术的应用范围广泛应用于各领域,从固定工件(真空吸盘)到保温瓶,节能玻璃,CD和DVD,白炽灯泡和阴极射线管,医疗扫描仪和化学分析工具,到高能物理研究设施和下一代核电(核聚变)的发展。
  这些技术对真空环境的要求同样广泛,离不开真空泵的使用,无论你是采哪种真空泵,旋片式真空泵,水环式真空,或罗茨真空泵,要求应用各种各样的技术来实现它们。在设计系统时,需要特别注意绝对压力,特定残留物的分压以及泵对系统过程的电子,电磁和物理影响。
  由于对不同过程的压力要求从十分之几大气压(真空吸盘等)到不到一万亿分之一大气压(例如表面科学应用),并且应用的物理定律差异很大,因此真空科学必不可少次分类为许多真空状态。从一种状态过渡到另一种状态的压力在某种程度上是开放的,并且可能取决于你采用何种真空泵.
  高真空的获得:旋片式真空泵在高真空技术中的应用!
  而高真空的压力范围:102~10-1 Pa,如真空冶金、真空镀膜、真空器件的生产,这些都需要高真空下进行,通常采用旋片式真空泵,水环真空泵和罗茨真空泵组成真空机组,可以获得高真空。

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